泰美克，年产60亿片石英晶片，国家高新技术企业

泰美克成立于1996年,专注于硬脆材料精密、精细加工。产品包括各种石英晶振用石英晶片、声表面波滤波器(SAW)用钽酸锂/铌酸锂晶圆及各种晶体、陶瓷、玻璃等硬脆材料应用产品。

产品广泛应用于航空航天、汽车,通讯、物联网、电脑、家电及其它各类工业与消费领域。

公司总部位于四川省成都市高新西区,在四川巴中建有生产基地,是国家高新技术企业,现有厂房面积30000多平米,石英晶片年产能60亿片,是拥有国际订单供货能力和先进技术的全品类石英晶片制造商。

2022年11月9日,四川省经济和信息化厅正式公布2022年度四川省“专精特新”中小企业名单,成都泰美克晶体技术有限公司成功入选。

泰美克是国家高新技术企业,获评2017年四川省技术创新发展能力企业100强,公司技术中心于2017年被认定为四川省企业技术中心。

公司现有11项发明专利、7项实用新型专利,另有9项发明专利在申请中,每年投入技术研发的费用超过营业收入的8%。

该公司主要产品:

●碳化硅衬底

碳化硅(SiC)是一种由碳和硅元素组成的宽禁带半导体材料,被称为第三代半导体材料。它具有许多显著的特点,如比硅更高的禁带宽度、导热率、击穿电压和电子饱和漂移速率。这些特性使碳化硅非常适合制造耐高温、高压和大电流的高频大功率器件。

碳化硅衬底可根据电阻率分为导电型和半绝缘型。导电型碳化硅衬底主要用于制造功率半导体器件,而半绝缘型衬底则用于射频器件。碳化硅衬底的生长技术包括在碳化硅单晶衬底上进行外延生长,用于制造功率器件,以及在碳化硅上生长氮化镓外延层,用于制造高频功率器件和光电器件。

碳化硅衬底的主要应用领域包括新能源汽车、光伏发电、轨道交通等。与传统硅基功率芯片相比,碳化硅芯片在功率半导体领域具有显著优势,如更高的电流和电压承受能力、更快的开关速度、更低的能量损失和更好的耐高温性能。这些优势使碳化硅成为未来功率器件领域的重要材料。

碳化硅衬底作为一种先进的半导体材料,具有广泛的应用前景,特别是在大功率和高频器件的制造上显示出巨大的潜力。

●金刚石衬底、热沉片

金刚石作为一种超宽带隙半导体材料,具有许多独特的特性,使其在半导体和集成电路领域具有广泛的应用潜力。金刚石的热导率极高,远超传统的半导体材料,使其成为理想的散热材料。在半导体高功率器件中,金刚石作为热沉的应用正受到越来越多的关注。金刚石与半导体器件的连接技术是当前研究的重点之一,虽然面临一些技术挑战,但已显示出良好的发展前景。

金刚石在半导体领域的应用还包括金刚石单晶衬底片。人造金刚石主要通过高温高压法(HPHT法)和化学气相沉积法(CVD法)制备。CVD法尤其是微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD法)制备的金刚石,因其高纯度、高热导率和大面积成膜能力,被广泛应用于高热流密度条件下的散热材料,如雷达组件等。

金刚石单晶衬底片在半导体领域的应用还处于发展阶段。金刚石作为一种超宽带隙半导体,具有超高载流子迁移率、高热导率、低热膨胀系数和超高击穿电压等优势,使其成为下一代微电子和光子学的理想材料。但是,金刚石在实际应用中仍面临一些挑战,如大面积晶圆生长的困难、掺杂问题等。尽管如此,通过不断的技术创新和制造工艺改进,金刚石在未来半导体领域的应用前景仍然非常广阔。

金刚石在半导体和集成电路领域的应用正逐步展开,其在散热和衬底材料方面的潜力已经显现,未来有望在更多领域实现应用。

●玻璃晶圆

玻璃晶圆是一种由玻璃材料制成的圆形薄片,其厚度通常在1毫米以下,尺寸与硅晶圆类似,分为6英寸、8英寸、12英寸等规格。玻璃晶圆本身是绝缘体,不直接用于电路制作,而主要用于作为硅晶圆的载体。玻璃晶圆的主要应用领域包括半导体器件的制造和封装,特别是在集成电路和半导体器件中实现各种功能,如MEMS致动器和传感器、CMOS图像传感器、存储器和逻辑电路、射频、功率电子器件、光电器件、微流体器件等。

玻璃晶圆在半导体领域的应用正逐渐增长,这得益于其独特的电气、物理和化学特性。玻璃作为一种多功能的通用材料,具有优良的热导特性和机械稳定性,使其成为半导体行业中的重要材料。玻璃基板在半导体领域的应用广泛且多样化,包括晶圆级封盖、3D TGV/玻璃中介层、晶圆级光学元件等。玻璃衬底市场在半导体器件中的应用正逐渐增长,预计在未来几年内市场营收将显著增长。

随着技术的进步,高精度超薄结构化玻璃晶圆已经进入量产阶段,其公差低于20微米。这种高精度玻璃晶圆在高科技应用中的需求逐渐增加,特别是在需要微小化和高精度组件的领域。 玻璃晶圆作为一种先进的半导体领域的应用材料,特别是在作为硅晶圆载体和半导体器件制造中具有广泛的应用前景。随着技术的不断进步和市场需求的增长,玻璃晶圆在半导体领域的应用将会进一步扩大和深化。

●锑化镓衬底

锑化镓(GaSb)是一种Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体材料,以其优异的性能在锑化物红外光电器件领域发挥着关键作用。锑化镓衬底材料的主要特性包括其直接带隙特性,在300K下的禁带宽度为0.725eV,以及较高的热稳定性。这些特性使得锑化镓成为制造高性能红外探测器、激光器、光电探测器和高频器件的理想材料,尤其在红外成像领域中表现出色。

锑化镓衬底的应用广泛,涵盖了从光通信、光激光到光敏检测等多个工程领域。它特别适用于制作覆盖0.8μm至4.3μm光谱波长的器件,这一范围与多种III-V族化合物材料的晶格常数相匹配,使得锑化镓成为外延生长这些材料的理想衬底。通过使用锑化镓衬底,可以有效减少因晶格失配引起的应力和缺陷问题,提高器件性能。

锑化镓衬底的制造技术包括液封直拉法(LEC)、垂直温度梯度凝固法(VGF)等,这些技术能够实现大尺寸单晶的生长,并保持低缺陷密度和良好的表面质量。此外,锑化镓衬底的可掺杂性也为其在各种应用中提供了灵活性,例如通过掺杂不同的杂质来改变其导电类型。

在超晶格材料方面,锑化镓因其独特的性质而受到重视。超晶格材料是由两种不同组元的半导体材料以纳米级薄层交替生长而成,锑化镓在这些结构中表现出卓越的性能,特别是在红外探测器领域。这类探测器在制冷型和储能型应用中都显示出巨大的潜力。

锑化镓衬底在半导体领域中的应用广泛而重要,特别是在高性能红外光电器件和超晶格材料的应用中展现出其独特的优势。

●红外锗片

红外锗片,作为一种重要的半导体材料,在半导体领域和红外光学中扮演着关键角色。锗片的材料特性主要包括高折射率(在2-14μm波段约为4.0),以及在特定波段的光学性能变化。锗片的折射率略大于4,这有利于降低像差,对光学设计有利。同时,锗片的dn/dt系数相对较高,这可能导致红外光学系统随温度变化产生较大的焦平面位移。锗片在长波红外和中波红外光学系统中广泛使用,分别适合作为消色差双透镜中的冕牌或正元件以及火石或负元件。此外,锗片的透射率对温度敏感,因此在使用时需要考虑温度变化的影响。

在半导体领域中,锗的应用广泛而重要。它被用于制造高速电子器件和光电器件,如高纯度锗晶片用于太阳能电池和红外探测器的制造。锗单晶材料在半导体器件制造、红外光学、光纤通信、太阳能电池等领域都有广泛应用。锗的化学性质稳定,常温下不与空气或水蒸汽作用,但也会形成GeO的单层膜,时间长了会逐渐变成GeO2单层膜。在600～700℃时,很快生成GeO2。

锗片的应用不仅限于半导体和红外光学领域,还涉及到航空航天测控、核物理探测、光纤通讯、化学催化剂、生物医学等领域。例如,锗掺杂的光纤具有容量大、光损小、色散低、传输距离长及不受环境干扰等优良特性,是目前唯一可以工程化应用的光纤,是光通讯网络的主体。锗也用于制造GaAs/Ge太阳能电池,这些电池在空间应用环境下具有高抗辐射阈值和性能稳定性。

红外锗片以其独特的材料特性和广泛的应用领域,在半导体技术和红外光学中发挥着至关重要的作用。

●钽酸锂/铌酸锂

钽酸锂(LiTaO3,简称LT)与铌酸锂(LiNbO3, 简称LN)晶体,是集压电、铁电、热释电、声光及电光等性能于一体的多功能晶体材料,在声表面波(SAW)器件、光通讯、激光及光电子等领域中有着广泛的应用。

研发团队

泰美克的技术研发团队现有人员40余人,其中拥有硕士以上学位的近10人。

研发设备

泰美克的研发设备包括光学轮廓仪、平坦度测试仪、双面光刻机及辅助设备、自动磁控溅射镀膜机、高精度研磨抛光机、硬脆材料多线切割机、高精度晶体材料角度测量机等。另有自主研发的多种专用仪器、设备。

外部合作

泰美克技术中心同国内多个高等院校保持交流合作。

与西南交通大学建有“产学研联合实验室”、“传感器联合实验室”。与宁波大学在压电石英晶体领域进行理论研究合作。与电子科技大学、浙江大学联合进行新产品开发。